制程规划

自动将产品或载盘，放入腔体中的电极架中，高频电源系统，对于摆放在电极架拖盘上或是料盒中的产品进行真空等离子表面改质

传送方式

自动上下料

可放置4-5个料盒/CT约40秒

腔体

材质：AL6061

内腔容积约20L

强化安全玻璃真空腔体窗口   ，抗紫外线及高频辐射

真空泵

真空泵莱宝D-60T

制程压力10~100pa之间

压力量测范围10-3~1   torr

制程气体

混和气体：95% Ar+5%H2

气体用量约：5~40sccm之间

质流量控制SEVEN START D70

等离子电源

型式：射频RF Generator（含自动匹配器）

频率：13.56MHz

功率：0-600Watt

等离子效应

载盘（电极）间互相电容感应式产生区域等离子

气体流场分布

门板前端进气口均匀导入制程气体

有效层流，提升等离子均匀度，由腔体后方排气

安全联锁

当腔体门打开，真空PUMP阀件关闭与RF电源无法启动

紧急停止开关EMS

使用锁定类型紧急停止开关和放置在方便操作的区域

控制

PLC+威伦触摸屏/3级密码

电  力

相 （Phase）/ 线 （Line）

3相4线

Power supply

电压（Volt)）/ 频率（Hz）

380 V/ 50Hz

功率（Power）

2.5KVA

Grounding

压缩空气 

CDA

破真空用/气动组件需求

（CDA）

压力 Pressure （kg/cm2）

6

流量 flow rate （LPM）

20

管径 Pipe dia.（mm）

外径6mm内径4mm

排   气

内循环

安装原厂油气过滤与回收套件

Exhaust

管径 Pipe dia.（inch）

DN40

外型尺寸                   （Outline）

宽*高*深（mm）

约1100*1600*1060（含三色灯）

运转重量（kg）

约800 KGW